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氣體質量流量計可平替HORIBAMFC350 系列為全新升級的毛細管熱式氣體質量流量計/控制器。

氣體質量微小流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

氬氣氣體流量計MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

Air氣體質量流量計MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

氫氣氣體質量流量控制器MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

甲烷氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。