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產(chǎn)品中心流量計氣體質(zhì)量流量控制器MFC330高精度氣體流量控制器廠家
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
高精度氣體流量控制器廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調(diào)節(jié)氣體流量至設定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動， 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%F.S.（1:200）
控制范圍 1%-100% FS.（1:100）
準確度 ±1% F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應時間 <3 秒
預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳
閥門 常閉式
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服務電話：
18168878188
蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導體智能制造創(chuàng)新港
sales@aitoly.com
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