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產(chǎn)品中心流量計(jì)氣體質(zhì)量流量計(jì)MFC300高精度氣體流量計(jì)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品分類
高精度氣體流量計(jì)MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
超快響應(yīng)：5ms 測(cè)量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性，寬量程比
更小體積，安裝方便
無(wú)需預(yù)熱，使用便捷
分階流量控制軟件，靈活配置
技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體
氣體種類 Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
測(cè)量和控制范圍 0.2%-100%F.S. （1:500）
準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S.
重復(fù)精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
傳感器響應(yīng)時(shí)間 5ms
控制響應(yīng)時(shí)間 300ms
預(yù)熱時(shí)間 ≤1s
閥門 常閉式
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服務(wù)電話：
18168878188
蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào)半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港
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