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在氣體流量控制領域，愛拓利展示了其從MFC300、MFC330到MFC600等多個系列的氣體質量流量計產品。
以專為微小流量場景設計的MFC300系列為例，它采用MEMS流量傳感器，并自帶溫度和壓力補償功能。其測量準確度可達±0.5%F.S.，而傳感器響應時間僅為5毫秒。
愛拓利流量計的核心優勢在于其高精度與高穩定性。以MFC600系列為例，準確度可達±0.2%F.S.，線性度為±0.1%F.S.，重復精度更是達到±0.05%F.S.。
這種高精度特性在動態氣體配氣過程中至關重要，可以確保各組分流量的精確控制，從而保證最終混合氣體濃度的準確性。
愛拓利專注于微小氣體領域精準測控，產品廣泛應用在半導體，光伏，光纖，FPD，真空鍍膜，新能源電池，分析儀器，生物制藥，制配氣、化工、食品、工業自動化等領域
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