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微流量氣體質(zhì)量流量計-平替進(jìn)口同類產(chǎn)品采用毛細(xì)管柱式傳感器與旁路分流系統(tǒng)，具備高精度、快速響應(yīng)和高重復(fù)性，可精準(zhǔn)測量和控制氣體流量。支持多種氣體和寬量程選擇，適用于潔凈干燥氣體場景，是實驗室及工業(yè)領(lǐng)域中可靠且經(jīng)濟(jì)的流量測控解決方案。

Air氣體質(zhì)量流量控制器MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

氣體質(zhì)量流量計可平替HORIBAMFC350 系列為全新升級的毛細(xì)管熱式氣體質(zhì)量流量計/控制器。

氣體質(zhì)量微小流量計MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

Air氣體質(zhì)量流量計MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

氫氣氣體質(zhì)量流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。